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內行一看就懂: Enlitech的SG-A量子效率檢測與傳統(tǒng)CIS缺陷檢測有何不同?

更新時間:2023-06-13      點擊次數:1014

內行一看就懂: Enlitech的SG-A量子效率檢測與傳統(tǒng)CIS缺陷檢測有何不同?

常見的傳統(tǒng)非破壞性缺陷檢測方法有兩種:

  1. AOI檢測

  2. 成像質量檢測

AOI檢測的原理:

 

AOI檢測(Automatic Optical Inspection)是一種利用光學成像技術對CIS影像芯片進行缺陷檢測的方法。該系統(tǒng)包含一個主動光源,將光照射到CIS影像芯片表面上,透過光線的反射,被相機鏡頭收集,形成CIS表面影像。這個影像可以通過影像辨識軟件進行分析和處理,自動辨識CIS芯片表面缺陷。 AOI檢測的優(yōu)點在于,它可以高效、快速地檢測CIS芯片表面的缺陷,包括瑕疵、污染、顆粒等等。

盡管AOI檢測在CIS芯片的生產中有著很多優(yōu)點,但是它也存在著一些局限性。由于CIS芯片的表面特性和缺陷類型多種多樣,而且還受到光照等環(huán)境因素的影響,因此需要針對不同類型的CIS芯片進行不同的光學參數設置和算法調整。同時,需要在整個生產線上不斷地對AOI檢測系統(tǒng)進行校準和維護,以保證檢測的準確性和穩(wěn)定性。

最重要的一點局限,AOI的檢測僅限于CIS芯片表面的特征,對于芯片內部的制程參數,例如光轉電的過程中的特性,無法透過AOI觀察到,因此AOI無法提供完整的CIS性能評估與改進參考。

成像質量檢測的原理:

1. CIS影像芯片的成像質量檢測方法及其重要性:

CIS影像芯片的成像質量檢測是一種對CIS影像芯片成像性能進行評估的方法,旨在確定影像芯片是否能夠達到設計規(guī)格,同時檢測CIS影像芯片的制造過程中是否存在缺陷。該檢測方法基于觀察捕捉標準色卡標準圖卡的影像,透過數學模型進行分析,以確定影像的分辨率、對比度、色彩準確度、噪聲等指標是否符合要求。影像芯片的成像質量檢測是影像晶片生產過程中重要的一步,它可以幫助確保影像芯片的品質和性能,提高產品的穩(wěn)定性和可靠性。

以下為示范圖:

成像質量檢測所用的標準色卡與標準圖卡

成像質量測試的架設. (From Imatest Inc.)將待測試的CIS 影像芯片置放于軌道中,并將標準圖卡擺放在CIS影像芯片合適的成像距離處,兩邊采用高該均勻度的照射光源,將光線投射到標準圖卡上.標準圖卡上的影像將光線反射后,投射到CIS影像芯片上,對此進行取像.取得的圖像,依據數學模型與公式,進行影像品質的計算與比較。

影像芯片檢測法之不足:

上述兩種常見的CIS影像芯片檢測方法只能檢測CIS影像芯片標面缺陷或是成像時的質量,并不能檢測影像芯片內部的重要參數。這些參數包括量子效率、光譜響應、系統(tǒng)增益、靈敏度等,它們更為細部且對影像芯片的性能影響至關重要。因此,除了成像質量檢測外,還需要進行其他檢測方法,來全面評估影像芯片的性能。如此可以更全面地了解影像芯片的性能表現,并且為CIS影像芯片的設計和制造提供更好的參考和支持。

CIS影像芯片的重要參數

為CIS影像芯片的設計和制造提供更好的參考和支持,我們需要更全面與詳盡地了解對于CIS影像芯片性能表現有重大影響的重要參數,但傳統(tǒng)的光學檢測方法卻無法測試到一些關鍵參數,例如

  1. 量子效率光譜Quantum Efficiency Spectrum

  2. 光譜響應Spectral Response

  3. 系統(tǒng)增益System Gain

  4. 靈敏度Sensitivity

  5. 動態(tài)范圍Dynamic Range

  6. 飽和容量Saturation Capacity

  7. 線性度誤差Linearity Error (LE)

  8. 主光線角度CRA (Chief Ray Angle)

相較傳統(tǒng)CIS光學缺陷檢測,SG-A的光學檢測方案可以:

1. 提供比傳統(tǒng)非波壞性光學檢測方法更全面的缺陷檢測資訊,

2. 幫助用戶更全面地了解CIS影像芯片的性能表現。

此方案可以測試像素之間的串擾、亮度均勻性、顏色一致性和像素傾斜度等問題,並提供參數與分析資訊給製造商,幫助他們在CIS影像芯片的設計和製造過程中研發(fā)優(yōu)質的CIS影像芯片。


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