AOI檢測(Automatic Optical Inspection)是一種利用光學成像技術對CIS影像芯片進行缺陷檢測的方法。該系統(tǒng)包含一個主動光源,將光照射到CIS影像芯片表面上,透過光線的反射,被相機鏡頭收集,形成CIS表面影像。這個影像可以通過影像辨識軟件進行分析和處理,自動辨識CIS芯片表面缺陷。 AOI檢測的優(yōu)點在于,它可以高效、快速地檢測CIS芯片表面的缺陷,包括瑕疵、污染、顆粒等等。
盡管AOI檢測在CIS芯片的生產中有著很多優(yōu)點,但是它也存在著一些局限性。由于CIS芯片的表面特性和缺陷類型多種多樣,而且還受到光照等環(huán)境因素的影響,因此需要針對不同類型的CIS芯片進行不同的光學參數設置和算法調整。同時,需要在整個生產線上不斷地對AOI檢測系統(tǒng)進行校準和維護,以保證檢測的準確性和穩(wěn)定性。
最重要的一點局限,AOI的檢測僅限于CIS芯片表面的特征,對于芯片內部的制程參數,例如光轉電的過程中的特性,無法透過AOI觀察到,因此AOI無法提供完整的CIS性能評估與改進參考。